تجهیزات
- دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کاملتوسعه فناوری ریز مقیاس آژینهتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی
- دستگاه لیتوگرافی رو میزیتوسعه فناوری ریز مقیاس آژینهتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی
- دستگاه تطبیق ماسک یک طرفه و دو طرفهتوسعه فناوری ریز مقیاس آژینهتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی
- دستگاه اچ یونی فعال عمیقرشد نانو فناورانتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی
- دستگاه لیتوگرافی تماسی ماورا بنفشسامانه تجهیز دانشتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی
- دستگاه لیتوگرافی نوریسامانه تجهیز دانشتجهیزات حکاکی و لیتوگرافی